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产品资料

光伏芯片扩散制程上下货及检测系统

光伏芯片扩散制程上下货及检测系统
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称： 光伏芯片扩散制程上下货及检测系统
  • 产品型号：Model 3775
  • 产品展商：Chroma
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
通常用于芯片磷扩散的炉管制程。在扩散制程中致茂可提供客户使用短版的晶舟， 或长版晶舟来上下载具的传输设备。芯片的传送使用高速富挠性的取放机器人。致茂在扩散过程中提供的载具传输设备，低破片率，高产量和低成本可满足客户的扩散制程功能要求。
产品描述
 
主要特色：
  • 低破片率
  • 高产量
  • 机器人传送取放
  • 表面检查：选配
  • 上货载具：石英晶舟
  • 下货载具：Manz盒 / Cassette(选项)
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