电源测量单元（SMU）

直流和时间相关测量可让您对电流-电压（IV）测量结果充满信心

• 4 象限电源和测量功能可让您在低至 fA（毫微微安培）的范围内进行**的电流-电压（IV）表征
• 测量范围是 0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V
• 提供点测量、扫描测量、脉冲和采样测量功能
• 采样测量间隔*低为 100 μs
• 脉宽*小值为 500 μs，使用 2 μs 分辨率
• 准静态电容-电压（QS-CV）测量，具有泄露电流补偿
   

  电源/测量单元（SMU）是 Agilent B1500A 半导体器件分析仪的关键测量模块。SMU 集成了电压/电流源和测量功能，可在低至 fA / µV 分辨率上执行**的直流电流-电压（IV）测量。选件 ASU（自动传感和开关单元）可将低电流测量性能向下扩展至次 fA 范围，为您提供更高的测量性能。
  SMU 还可执行准静态电容-电压（QS-CV）测量。它不仅拥有低频 CV 特征，同时还是表征栅极晶体管的表面态以及高频 CV 的重要测量方法。Agilent B1500A 支持**的 QS-CV 测量和泄露电流补偿。
  对于要求进行精密电压/电流测量的半导体、纳米器件（例如碳纳米管（CNT）和碳纳米线（CNW））、有源/无源元件、材料以及任意电气器件，SMU 结合使用 EasyEXPERT 软件的分析和数据管理能力，非常适合对这些器件进行表征。

  

  利用硬件时钟精密计时控制功能可实现**的时间相关表征（例如脉冲和采样测量）
  除了直流测量功能之外，Agilent B1500A SMU 还具备先进的时间相关测量功能，包括脉势测量和采样测量。脉冲和采样测量能够找出并捕获动态特征。计时精度是时间相关测量的重要因素之一。Agilent B1500A SMU 利用硬件时钟精密计时控制功能来执行**的测量。*低采样测量间隔低至 100 μs，脉宽*小值为 500 μs。
  Agilent B1500A 提供 3 种 SMU 以满足您的测试需求。

  SMU 型号	主要特性和技术指标
  B1510A 高功率电源/测量单元（HPSMU）	在 4 象限操作范围内，测量范围高达 200 V / 1 A *低测量分辨率是 10 fA / 2 μV *低电源分辨率是 50 fA / 100 µV
  B1511A **率电源/测量单元（MPSMU）	在 4 象限操作范围内，测量范围高达 100 V / 0.1 A *低测量分辨率是 10 fA / 0.5 μV *低电源分辨率是 50 fA / 25 µV
  B1511B 高分辨率电源/测量单元（HRSMU）	在 4 象限操作范围内，测量范围高达 100 V / 0.1 A *低测量分辨率是 1 fA / 0.5 μV *低电源分辨率是 5 fA / 25 µV 选件 ASU（自动传感和开关单元）可将范围向下扩展至 1pA，测量分辨率为 0.1 fA