RTS-8四探针测试仪由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
RTS-8四探针测试仪特点：
Ø 采用*新电子技术进行设计
Ø 具有功能选择直观
Ø 测量取数快
Ø 精度高、测量范围宽
Ø 稳定性好
Ø 结构紧凑、易操作
行业应用
Ø 半导体材料厂
Ø 半导体器件厂
Ø 科研单位
Ø 太阳能电池板生产厂家
Ø 高等院校对半导体材料的电阻性能测试
RTS-8四探针测试仪技术参数：
电阻率测量范围
10-4～105 Ω.cm(可扩展)
方块电阻测量范围
10-3～106 Ω/□(可扩展)
电导率测量范围
10-5～104 s/cm
电阻测量范围
10-4～105 Ω
可测晶片直径
140mmX150mm(配S-2A型测试台)
200mmX200mm(配S-2B型测试台)
400mmX500mm(配S-2C型测试台)
恒流源
电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调
数字电压表量程
000.00～199.99mV
分辨力
10μV
输入阻抗
>1000MΩ
精度
±0.1%
显示
四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示
四探针探头间距
1±0.01mm
针间绝缘电阻
≥1000MΩ
机械游移率
≤0.3%
探针
碳化钨或高速钢Ф0.5mm
探针压力
5～16 牛顿(总力)
四探针探头应用参数
(见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行)
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整机测量*大相对误差
(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度
≤5%
计算机通讯接口
并口
标准使用环境
温度：23±2℃；
相对湿度：≤65%；
无高频干扰；无强光直射
本页面标题：四探针测试仪RTS-8 薄层电阻测试仪