SDY-4四探针测试仪可满足半导体材料、器件的研究生产单位对材料(棒材、片材)电阻率及扩散层、离子注入层、异型外延层和导电薄膜方块电阻测量的需要。
SDY-4四探针测试仪特点
Ø 以大规模集成电路为核心部件
Ø 采用平面轻触式开关控制,及各种工作状态LED指示.应用微计算机技术
Ø 利用HQ-710E型测量数据处理器，使得测量读数更加直观、快速
Ø 并能实现晶片厚度自行修正，打印出全部预置和测量、计算数据
Ø 仪器体积小、功耗低、测量精度高
Ø 测试速度快、稳定性好、易操作
Ø 数据处理器功能
SDY-4四探针测试仪性能：
测量范围
电阻率
0.001-200Ω.cm(可扩展)
方块电阻
0.01-2000Ω/口(可扩展)
可测晶片直径(*大)
100mm(配J-2B型手动测试台)
200mm(配J-51型手动测试台)
恒流源
电流量程分为0.1、1、10、100(mA)四档,各档电流连续可调.
误差
<±0.3%
数字电压表
量程
0-199.99mV
分辨率
10μV
显示
四位半红色发光管数字显示;极性、小数点、超量程自动显示。
输入阻抗
>1000MΩ
精度
±0.1%.
*大电阻测量误差
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
四探针探头
间距
1±0.01mm
针间绝缘电阻
≥1000MΩ
机械游移率
≤0.3%
探针压力
TZT-9A/9B
12-16牛顿(总力)
TZT-9C/9D
5-8 牛顿(总力)
整机不确定度
≤5%(0.01-180Ω.cm)
外形尺寸
电气主机
360mm×320mm×100mm
数据处理器
300mm×210mm×105mm
重量
主机/测试台/数据处理器
4kg/10kg/2.5kg
测试环境
温度23±2℃；相对湿度≤65％；无高频干扰；无强光照射。
本页面标题：四探针测试仪SDY-4
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