德国ARNOLD的72/860多晶硅表面研磨机
这款72/860适合用于研磨切方后的单晶硅和多晶硅表面，72/860多晶硅表面研磨机带有4个平行的磨头单元。工件的尺寸为125 x 125 mm 和156 x 156mm。可研磨的长度是从180到1000mm。
*自动更换加工规格(125/156)
*为手动和全自动装载配有两个不同的装载区，例如使用工业机器人进行全自动装载
*通过平行的磨头单元进行几何修正
*非常高的重复性
*气动夹持和对中工件
*切方后的硅锭不需任何准备工作进行加工
*自动纠正补偿生产过程中的工具损耗
*通过使用高分辨率测量系统进行自动对带检测的打磨工具调整以优化加工时间
*检测和分析磨削后工件特有的质量参数，如几何测量、棱角等
*由4个磨轮，通过粗磨和精磨过程，实现大的硅磨削量，确保高的产量
多晶硅表面研磨机配有SPS Simatic –S7 IPC工控机和15”触摸屏及传感器。可另选ARPAT生产分析软件，数据和分析可储存在微软SQL数据库中。
72/860.1000
工件长度：400-1000mm
72/860.500
工件长度：180-500mm
工件规格：125 x 125mm
156 x 156mm
工件重量： *大30Kg
压缩空气：6 – 8 bar
冷却：水
设备重量：约6500Kg
另选：
工件规格：210 x 210 mm2
ARPAT- ARNOLD远程生产分析工具
工件质量数据：
*棱角：+/-0.020 （89.9800 – 90.0200）
*硅锭宽度几何公差：+/-0.05mm
*算术表面粗糙度Ra < 0.1μm