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产品资料

残余气体分析仪

残余气体分析仪
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：残余气体分析仪
  • 产品型号：RGA系列
  • 产品展商：其它品牌
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
RGA系列残余气体分析仪具有多种量程，分辨率高，可检测*大压强为5 × 10-14 Torr ，带操作软件，同时可更换电子倍增管和灯丝。应用领域广。
产品描述
RGA100/RGA200/RGA300残余气体分析仪

应用领域：
真空腔残余气体分析；真空腔及阀门检漏；半导体工业：刻蚀、溅射、蒸镀的过程监测；科研高真空领域：表面科学、加速器、扫描电镜、宇航空间模拟室、排气室等；现场大气成分分析（大气污染检测、防化的便携式装备）；工业应用：反应气体污染的检测等。
 
产品特点：
※100, 200和300 amu 系统 优于1amu的分辨率
※在一次扫描内有6个数量级的动态保存
※可检测*大5 x 10-14 Torr
※实时RGA Windows 和 LabVIEW 软件
※现场可替换电子倍增管和灯丝,RS-232 接口
 
技术规格：
质谱
离子发生器
型号
RGA100
RGA200
RGA300
设计
开放离子源,圆柱对称,电子冲击电离
质谱范围
1-100 amu
1 - 200 amu
1 -300 amu
灯丝
现场可替换
质谱类型
四极
电子能量25 -- 105 V, 可编程
探测器类型
法拉第杯(FC)--标配，电子倍增器(EM)--选件
离子能量
8/12 V, 可编程
分辨率
优于1amu
电子发射电流
0 -- 3.5 mA,可编程
灵敏度
2× 10-4 (FC), <200 (EM). 用户通过电压范围调整
聚焦电压
0 -- 150 V, 可编程
*小分压测量
5 × 10-11 Torr (FC). 5 × 10-14 Torr (EM)
  
*大操作压力
10-4 Torr -- UHV (FC) 10-6 Torr-- UHV (EM)
  
 
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