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产品资料

封闭离子源残余气体分析仪

封闭离子源残余气体分析仪
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：封闭离子源残余气体分析仪
  • 产品型号：CIS系列
  • 产品展商：其它品牌
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
CIS系列封闭离子源残余气体分析仪的四极管及接收器皆处于小于10-4 Torr 的压力，又可以同时从1-10m Torr 制程压力，适合压力大于10-4 Torr的环境。
产品描述
 CIS100/CIS200/CIS300封闭离子源残余气体分析仪
 
应用领域：
真空腔残余气体分析；真空腔及阀门检漏；半导体工业：刻蚀、溅射、蒸镀的过程监测；科研高真空领域：表面科学、加速器、扫描电镜、宇航空间模拟室、排气室等；现场大气成分分析（大气污染检测、防化的便携式装备）；工业应用：反应气体污染的检测等。

产品特点：
※100, 200, 和 300 amu 系统,1 ppm 稳定探测
※*大操作压力10 mTorr , 可检测*大1 x 10-12 Torr压强
※实时RGA Windows软件
※多传感头操作,现场可替换电子倍增管和灯丝
※RGA和CIS 模式
 
技术规格：
质谱
   
离子发生器
 
型号
CIS100
CIS 200
CIS 300
设计
开放离子源,圆柱对称,电子冲击电离
质谱范围
1-100amu
1-200amu
1-300amu
灯丝
现场可替换
质谱类型
四极
四极
四极
电子能量
25-105eV,可编程
探测器类型
法拉第杯(FC)&
电子倍增器(EM)
法拉第杯(FC)&
电子倍增器(EM)
法拉第杯(FC)&
电子倍增器(EM)
离子能量
4/8eV,可编程
分辨率
优于1amu
优于1amu
优于1amu
电子发射电流
0-1mA,可编程
*大操作压力
10 mTorr
10 mTorr
10 mTorr
聚焦电压
0-150V,可编程
*大检测压强
1 x 10-12 Torr
1 x 10-12 Torr
1 x 10-12 Torr
1 x 10-12 Torr
1 x 10-12 Torr
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