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失效分析探针台
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失效分析探针台
产品资料
失效分析探针台
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
失效分析探针台
产品型号:
FA-8
产品展商:
semishare
产品文档:
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简单介绍
特点 失效分析实验室专用 大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计,定位准确 可做LC液晶热点侦测 激光*小可加工精度1*1um 激光可选择性去除特定材料而不损伤下层 芯片内部线路/电极/PAD测试 适用于IC/面板内部线路修改/去层 射频特性器件失效分析 可升级用于12英寸以内样品测试 材料/器件的IV/CV特性测试及失效分析
产品描述
规格
FA-8
FA-8
-SC
外形
960mm长*850mm宽*
15
00mm高
880mm长*860mm宽*
15
50mm高
重量
约260KG
约2
8
0KG
电力需求
220VC,50~60Hz
样品台
尺寸
8英寸,可360度旋转
行程
X-Y行程8*8英寸
移动精度
1um
样品固定方式
真空吸附
真空吸附
温控范围
-
﹣80~200℃
快速拉出
-
有
特殊运用
电学独立悬空,可作为背电极使用
针座平台
规格
U型平台,*多可放置10个针座
O型平台,*多可放置12个针座
行程&调节方式
平台可以快速升降,行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调,行程25mm,升降精度1um
光学特性
显微镜行程
X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm
X-Y轴行程1英寸*1英寸,Z轴:50.8mm
放大倍数
20~4000X
镜头切换时操作
快速倾仰
气动升降
CCD像素
50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)
激光特性
波段
波长可选择1064/532/355/266nm波段
功率
输出功率2.2mJ/pulse
微加工能力
可加工材质:Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF内杂质等
精度
*小可加工精度1*1um(配置100X镜头时)
冷却方式
可选择风冷激光或水冷激光
点针规格
X-Y-Z行程
12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
机械精度
2微米/0.7微米/0.1微米
漏电精度
10pA/100fA (配置屏蔽箱时)
接口形式
香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口
可选附件
卡盘快速拉出装置
卡盘快速拉出装置
液晶热点侦测套装
液晶热点侦测套装
高压/大电流测试套装
高压/大电流测试套装
加热台
-
屏蔽箱
屏蔽箱
转接头
转接头
防震台
防震台
镀金卡盘
镀金卡盘
同轴叁轴卡盘
同轴叁轴卡盘
样品台快速升降,微调升降装置选件
-
光强/波长测试选件
光强/波长测试选件
射频测试附件
射频测试附件
有源探头
有源探头
低电流/电容测试
低电流/电容测试
光纤夹具耦合测试选件
光纤夹具耦合测试选件
封装器件夹具
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PCB/封装夹具测试选件
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特殊定制
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应用方向
常温和高低温环境下的芯片失效分析
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