低温和高温测试探针台 SCG-4特点： 载物Chuck 温度范围：4K-480K 外置4个定位针臂，预留2个 探针X-Y-Z三方向移动，行程：25mm，定位精度：10微米 *多可以外置6个定位针臂 载物chuck *大可到2寸 双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度 针臂定位精度可以升级为0.7微米 极限真空到10-10 torr 可以选择射频配件做*高67 GHz的射频测试 可以选择防震桌 可以选择超高真空腔体 客户订制 温控规格: 控温范围 4K-480K 控温精度 0.1K 温度稳定性 4 K + - 0.2 K 77 K + - 0.1 K 373 K + - 0.08 K 473 K + - 0.1 K 823 K + - 0.2 K(可选) 973 K + - 1.0K(可选) 常温到8K冷却时间: 1小时40分钟 8K到常温升温时间: 1小时30分钟 从常温开始的升温时间 200 ℃ 550℃ 700 ℃ (4 chuck，单位分：秒) 1:00 1:30 2:00 电源 直流 材质 不锈钢 功率(4chuck) 850W 机械规格 针座行程 X轴方向 25.4mm(1 inch) 可以选择50.8mm Y轴方向 25.4mm(1 inch) 可以选择50.8mm Z轴方向 25.4mm(1 inch) 可以选择50.8mm 光学部件规格 显微镜X-Y轴方向行程 2"*2" 可以选择4"*4" 总共放大倍率 240X 可以选择更高倍率 真空腔观察窗口 2 inch 外部石英材质99%红外线穿过率 内部吸收红外线仅可见光通过 光源 150W可连续调节双光纤导引 可选附件 防震桌 方形chuck 分子泵组 射频部件