DCM 3D结合了共聚焦和干涉测量技术,具有高速和高分辨率的特点,分辨率高达0.1nm。
共聚焦技术可测量多种不同样品材料,可同时获取共聚焦和明场图像。
共聚焦和干涉测量的双核心技术具备高速测量和高分辨率的特点,分辨率为0.1nm-10nm。
微观显示共聚焦技术使得同一视野的共聚焦和明场图像可同时显示。
干涉测量PSI和VSI提供平滑表面的高准确度测量,具有超微观的纳米级分辨率。