BAG552热电离真空计

BAG552 专为压力范围为 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的气体真空测量而设计。支持双灯丝，具有出色的精度、可重复性和使用寿命。BAG552 还可与 INFICON 真空计控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。

优势

1，纯粹的 Bayard-Alpert 测量系统，适用于超高压和高压测量范围
2，双灯丝设计
3，电隔离电子设备，避免杂散电流
4，滑动发射模式，避免在切换发射流时出现压力跳跃和冻结现象
5，可移动校准数据芯片，延长了烘烤时间
6，设定点继电器
7，明亮大屏幕 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面
8，模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
9，可与 VGC50x 控制器系列配合使用
10，符合 RoHS 规范

典型应用

半导体工艺中的压力测量
工业镀膜
高真空至超高真空范围内系统的一般真空测量和控制

测量范围 ：(气, O2, CO, N2) 5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar 
准确度 ：1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar ±15% 读数 
可重复性： 5% 读数, 10-8 … 2 × 10-2 mbar (稳定 10 分钟后） 
暴露在真空中的材料 不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨 

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