离子基准真空计 IRG080 是专为在真空系统中**测量总压而开发的一款真空传感器。IRG080 基于**的电离真空计概念(热阴极发射电子以直线路径进入法拉第杯),适用于 10-8 mbar 至 10-4 mbar 范围内的参考标准。
IRG080 具有的精度(低至 1%)、可预测的气体灵敏度(极小的差值)、非常好的短期重复性和再现性。该仪器是计量和校准的理想解决方案。IRG080 由 IRC081 显示和操作单元连接和控制。
优势
1,专为在高真空和超高真空范围内要求高测量精度的应用而开发
2,电极系统配置符合 ISO TS 6737 标准
3,相对气体灵敏度可预测,不确定性小,可测量所有气体种类的真实压力
4,电子发射稳定,不受 ESD 或 X 射线效应的影响
5,可重复,易于运输
6,烘烤温度可达 165 °C(带耐温电缆),不带连接器单元时烘烤温度可达 400 °C
7,可提供用于磁屏蔽的 Mu 金属中间件
运营单元
离子参考计控制器 IRC081
参考标准
氮气精度低于 1
可预测的气体灵敏度,误差极小(<1.5)
真正的总压测量
非常佳的短期重复性(<1%)和再现性(<1)
测量原理
电子离开阴极(左侧),被阳极加速到 200 eV,然后被离子收集器聚焦。电子路径的长度具有良好的特性,因此仪器的灵敏度是可以预测的。电子在阳极栅内产生的离子被加速到收集器,并以电流形式测量。阳极栅外产生的离子会被偏转器捕获。
一个完整的套餐
通过离子参考规控制器 IRC081 的操作和显示界面
用户可控制 IRG080 仪器参数
在 IRC081 用户界面软件 (LabVIEWTM) 中显示设置和测量值
数据和参数记录功能
杭公网安备 33010502004916号