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产品资料

PEV-1压电阀

PEV-1压电阀
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：PEV-1压电阀
  • 产品型号：
  • 产品展商：INFICON
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
PEV-1压电阀是为了适用于要求精准控制气体流量的场合，主要应用领域包括：磁控溅射，光学镀膜，太阳能电池，ITO，等离子体刻蚀等。它和MAXTEK的MV-112同是孪生兄弟。
产品描述

PEV-1压电阀主要技术特点：

  • 控制模式：开环控制和闭环控制。
  • 易于集成：可与国产自动压强控制仪配套使用，来实现闭环控制，达到稳定压强的目的，性价比高，同时亦可选择进口压强控制仪。
  • 响应时间快
  • 性能稳定，压电陶瓷片寿命长。
  • 无机械连接件，无伺服马达，无磨损，在断电的情况下可实现自动关闭的特点


技术参数：

  • 流量0-500Sccm 
  • 响应时间2毫秒
  • 集成漏率5×10-8sml／sec 
  • 驱动电压0-100VCD／0-24VDC 
  • 电路连接标准BNC接头（Q9）
  • 温度范围100C至600C 
  • 极大入口压强50PSI


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