TV－2KG分子泵

系统界面

• 一体化 的机型包括了涡轮分子泵，驱动配置，供电电源配置，气体保护配置机通信配置
• 通用的电子接口，便于用户使用控制软件
• 模拟I/O信号，标配为RS232或RS485接口
• 可选配Varian 通用总线控制接口      

应用知识

供货链及物流   

• 具备自诊断功能
• 实时监测分子泵的各项参数，包括振动图谱   
• 借助简单的数据连接，Varian的服务组织可以为您提供实时服务  
• 主动的维护计划使分子泵的使用寿命及无故障运行时间大大延长     

完善的支持

镀膜领域的应用包括   

可靠的设计

TV－2KG身为分子泵的一员，但性能更胜过普通分子泵，它是专为等离子体工艺领域设计开发的抽气系统。事实上，TV－2KG的各抽气级甚至整个泵的结构，都是以能在较高氩气负载和温度条件下保持上佳抽气性能为目标来优化设计的，它的电路系统具有更多附加特性，泵内还集成了放气和抽气阀门，其轴承具有免维护特性，这些优点无疑使TV－2KG成为应用在镀膜行业的非常好的分子泵。

独特的拖动级设计     

TV－2KG虽然外形紧凑，但其拖动级的独特设计确保了在高原强下对氩气抽气使仍保持大抽气量。拖动级由一体化的两层盘片组成，这样的设计大大提高了散热效率 ，因而极大程度地降低了泵高速运转时的内部温度。

TV－2KG将充气及放气阀集成于泵内，为世界首例。充气保护及放气过程的控制都由内部电路驱动完成，不再需要任何部件置于泵体外部。分子泵在这样周到的保护下，不易受到外部冲击和污染的损伤，因而极大限度地延长了使用寿命。  

TV－2KG系统配置了Varian独有地轴承和无油润滑系统，可免维护长期运转。另外，它可任意位置安装，而丝毫不会降低其性能和寿命。        

TV－2KG配备了特别的温度控制系统，使其能够实时监控泵的气载，功率，及冷却水温度，确保了材料负荷及轴承负荷在安 全范围内工作。  

TV－2KG所有的电路系统，都置于泵的底壳内，具有防水特性，符合IP54规范。借助微处理器的强大功能，TV－2KG的控制接口能与外部控制系统方便地连接，并通过一台笔记本电脑和Navigator软件轻松实现各种控制。

分子泵选型指南      

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