金属密封数字质量流量控制器

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产品名称：金属密封数字质量流量控制器
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产品展商：MKS
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简单介绍

新一代多气体/多量程数字质量流量控制器。实时高精度流量控制是基于先进的数字算法技术，提供精度为设定值的正负1%，相应速度快于500毫秒，不同气体及量程间自由切换的优异功能。 Ethernet用户通讯口方便地用于设置和诊断。各种模拟和数字（RS-485，DeviceNet，Modbus/TCP)通讯接口可选。 ALTA 系列金属密封数字质量流量控制器。精度为设定值的正负1%，相应速度快于1秒，不同气体及量程间自由切换。各种模拟和数字（Profibus，DeviceNet）通讯接口可选。

产品描述

P4B多气体/多量程数字质量流量控制器，满量程范围从10sccm-50slm.
P9B多气体/多量程/压力不敏感数字质量流量控制器，满量程范围从10sccm-50slm。
P250A多气体/多量程数字大流量质量流量控制器，满量程范围从100-250slm。
P2A低压质量流量控制器，满量程范围从2-50sccm。
P5A集成压力传感器的多气体/多量程数字质量流量控制器，满量程范围从10sccm-50slm。

ALTA 1490A/180A数字质量流量控制器/质量流量监视器，满量程范围i额从10sccm-30slm。
ALTA MC20A数字质量流量控制器，满量程范围从20-200slm。

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