1179A/2179A 质量流量控制器/带截至阀质量流量控制器，其满量程范围从10sccm-20slm。 M100B/M10MB 质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围i从10sccm-50slm，模拟通讯接口。 1559A/558A 大流量质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程满为从20-200slm，模拟通讯接口。 1579A/579A 大流量质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程满为从50-300slm,模拟或Profibus通讯接口。