GB50073-2013洁净厂房设计规范 空气洁净度
洁净室以及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应符合下表规定：
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空气洁净等级（N）
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GB 50073-2013洁净厂房设计规范 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级
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0.1um
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0.2um
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0.3um
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0.5um
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1um
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5um
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1
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10
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2
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-----
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-----
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-----
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-----
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2
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100
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24
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10
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4
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-----
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-----
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3
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1000
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237
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102
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35
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8
|
-----
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4
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1000*10
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237*10
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102*10
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35.2*10
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8.3*10
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-----
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5
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1000*100
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237*100
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102*100
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35.2*100
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8.32*100
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0.29*100
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6
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1000*1000
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237000
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102*1000
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35.2*1000
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8.32*1000
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0.293*1000
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7
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-----
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-----
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-----
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35.2*10.000
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8.32*10,000
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0.293*10,000
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8
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-----
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35.2*100.000
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8.32*100,000
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0.29*100,000
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9
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35.2*100.0000
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8.32*1000.000
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0.29*1000,000
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以上表格以已经用大家容易记住的表示方法标注
GB50073-2013洁净厂房设计规范 空气洁净度
注:①洁净室检测中每个采样点应至少采样3次.
②本标准不适用于表征悬浮粒子的物理性,化学性,放射性及生命性.
③根据工艺要求确定1～2种粒径.
④各种要求粒径D的粒子*大允许浓度Cn由公式(3.0.1)确定,要求的粒径在0.1～5μ m范围包括0.1μm及5μm.
Cn=10ⁿ×(0.1/D)2.08
式中 Cn——大于或等于要求粒径的粒子*大允许浓度(pc/m3).Cn是以四舍五入至相
近的整数,有效位数不超过三位数.
N——洁净度等级,数字不超出9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为*
小允许递增量.
D——要求的粒径(μm).
0.1——常数,其量纲为μm.
3.0.2 空气洁净度等级所处状态(空态,静态,动态)应与业主协商确定.
3.0.3 空气洁净度测试方法按附录C要求进行.
GB50073-2013洁净厂房设计规范 空气洁净度
附上有关洁净度的名称解释
洁净度 cleanliness ： 以单位体积空气中大于或等于某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。
空态 as-built
设施已经建成，其服务动力公用设施区接通并运行，但无生产设备、材料及人员的状态。
静态 at-rest
设施已经建成，生产设备已经安装好，并按供需双方商定的状态运行，但无生产人员的状态。
动态 operational
设施以规定的方式运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。
