TEM用纯Si薄膜窗口
窗口类型
薄膜厚度
窗口尺寸
框架尺寸
框架厚度
5nm
2x1阵列,50X1500µm
Φ3mm
100µm
9nm
/15nm
2x1阵列,100X1500µm
2x1阵列,100X100µm
200µm
3x3阵列,8个窗口50X50µm,1个窗口50X100µm
/9nm
3x3阵列,8个窗口100X100µm,1个窗口100X350µm
15nm
30nm
3x3阵列,8个窗口100X100µm,1个窗口100X350µm;纳米孔10-60nm
3x3阵列,窗口100X100µm