高精度及强大功能Park原子力显微镜产品特性
Park
XE15具备多个特殊功能,是共享实验室处理各类样品、研究员进行多变量实验、失效分析师研究晶片等的好选择。
MultiSample™(多重采样TM)扫描器带来便捷样品测量
多样品一次性自动成像
特殊设计的多样品夹头,*多可承载16个独立样品
全自动XY样品载台,行程范围达200 mm x 200 mm。
无轴间耦合提高扫描精度
两种独立闭环XY和Z平板式扫描
平板式和线性XY扫描可达100μm x 100μm,且残余压弯小
整个扫描范围内的异面移动小于2nm
强力扫描器达25μm Z扫描范围
精准的高度测量
Non-Contact™(真正非接触TM)模式延长针尖使用寿命、改善样品保存及精度
其Z扫描频宽是压电管基础系统的10倍
非接触式可降低针尖磨损、延长使用寿命
成像分辨率高于同类原子力显微镜
降低样品干扰,提高扫描精度
提供很好的用户体验
开放式侧面接入,提高样品及针尖更换效率
预对准的针尖安装和轴上俯视法可简单直观地实现激光对准
燕尾锁封片方便镜头拆卸
界面带自动设置功能,方便用户使用
多种模式与选项
综合性测量模式及特性设置,是我司通用型原子力显微镜
多种可选配件及更新,扩展性能优越
为缺陷分析提供先进电气测量
产品特点
100um x 100 um扫描范围的XY柔‘性导向扫描器
XY扫描器含系统二维弯曲及强力压电堆叠,可使极小平面外移动形成较大的正交运动,并能快速响应,实现样品纳米级扫描。
柔性导向强力Z扫描器
在强力压电堆叠的驱动及弯曲结构的引导下,其硬度允许扫描器高速竖直运动,较传统原子力显微镜扫描器更加高速。*大Z型扫描范围搭配远程Z扫描器(选配)可延长12μm至25μm。
滑动连接的超亮二极管头
通过将原子力显微镜头沿楔形轨道滑动,可轻松将其插入或取出。低相干的超发光二极管头可实现高反射表面的成像和力-矩光谱的测量。超亮二极管头的波长帮助减轻干扰问题,因此用户在可见光谱实验中也可使用本产品。
多样品夹头
特殊设计的多样品夹头,*多可承载16个独立样品,由多重采样扫描器自动按顺序扫描。特殊的夹头设计为接触样品针尖预留了边通道。
选配编码器的XY自动样品载台
自动集成XY载台可轻松并控制样品的测量位置。XY样品载台的行程范围可配置为150
mm x 150 mm或200 mm x 200 mm。若搭配自动载台使用编码器,可提高样品定位的精准度和重复性。编码XY载台工作时分辨率为1 μm,重复率为2 μm。编码Z载台的分辨率为0.1
μm,重复率为1 μm。
高分辨率数码变焦感光元件摄像头
高分辨率数码感光元件摄像头利用直接同轴光学,具备变焦功能,无论是否摇摄均可确保图像具有清晰的成像质量。
垂直对齐的自动Z载台及聚焦载台
Z载台和聚焦载台可将悬臂啮合到样品表面上,同时确保用户视野清晰稳定。聚焦载台是由软件控制自动运行的,因此满足透明样品及液态元件应用所需精度。
弯曲基底解耦XY和Z扫描器
Z扫描器与XY扫描器完全解耦。XY扫描器在水平面上移动样品,同时Z扫描器竖直移动探针。
此配置以*小异面移动,实现了平板式XY扫描。此XY扫描同时还具有高正交性与线性。
业内低本底噪声
为探测*小样品的特性,帮助运动平面成像,Park
Systems设计了业内0.5A以下的低本底噪声标准设备。使用“零扫描”探测本地噪声数据。
真正非接触模式延长针尖使用寿命
XE系列原子力显微镜已成功搭配砖利强力Z扫描系统独有的真正非接触模式。真正非接触模式下,使用的是相吸而非相排斥的内部原子力。
真正非接触模式因此成功地保持了针尖样品纳米级间距,改善了原子力显微镜图像,保持针尖的锐利,因此有效延长了针尖使用寿命。
预对准悬臂支撑
预先安装在探针支撑上,因此不需要严格对齐激光束。
高分辨率的直接同轴光学元件
用户可直接俯视观看样品,操控样品表面,从而很容易就能找到目标区域。高分辨率数码摄像头具备变焦功能,无论是否摇摄均可确保图像具有清晰的成像质量。
带DSP控制芯片的XE控制电子元件
原子力显微镜发出的纳米级信号将由高性能Park
XE电子元件控制并处理。Park
XE电子元件为低噪声设计,配备高速处理单元,可成功实现真正非接触™模式,是纳米级成像及电压电流精准测量的理想选择。
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600 MHz、4800 MIPS速度的高性能处理单元
- 低噪声设计,适合电压电流精准测量
-通用系统,各SPM技术均可得到应用
- 外部信号接入模块,存取原子力显微镜输入/输出信号
- *多16个数据成像
- *大数据尺寸:4096
x 4096像素
- 16位ADC/DAC,速度达500 kHz
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TCP/IP连接,隔离计算机接出电噪
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