四探针测试仪SX1934测试架青岛吉瑞丰精密仪器有限公司

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产品名称：四探针测试仪SX1934测试架
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简单介绍

四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M 标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）测试专用仪器。　　仪器以大规模集成电路为核心部件，采用旋扭式开关控制，及各种工作状态LED指示。应用微计算机技术，使得测量读数更加直观、快速。整套仪器体积小、功耗低、测量精度高、测试速度快、稳定性好、易操作。

产品描述

详细参数

型号	SX1934(SZ82)
测量范围	电阻率/Range：10^-4—10⁵Ω/□(可扩展/extended range) 方块电阻(薄层电阻) /Sheet resistance：10^-3—10⁶Ω/□ 电阻/resistance：10^-6—10⁵Ω
*可测晶片直径（大）**	φ100mm(标配)，方形230×220mm(*大)
*大电阻测量误差(按JJG508-87)	0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%读数±2个字
外形尺寸	400mm×440mm×120mm
仪器重量	电气主机：约4kg 　　测试台：约5kg
测试环境	温度：23±2℃ 相对湿度：≤65％；无高频干扰无强光照射
电源	220V±10%(50Hz) 功耗≤35W

探头

Sx系列四探针探头是采用综合性能优异的高分子材料、耐磨和硬度高的探针研制的测量数据稳定、可靠、准确度高、耐用性能好四探针探头。所有技术指标符合国家标准，同时符合ASTM标准有关规定。

间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻≥1000MΩ；机械游移率:≤1.0%；

探针压力：TZT-9A/9B: 12-16牛顿（总力） TZT-9C/9D 5-8 牛顿（总力）

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