FC-R7700CD质量流量控制器广泛使用在半导体液晶产业用真空装置数据存储装置工业镀膜实验室仪器大气环境监测等行业，在CVD、PVD、离子扩散、溅射、燃烧、光纤镀膜、表面处理和其他镀膜工艺中有大量使用先例并广受好评。
FC-R7700CD质量流量控制器技术特点 ◆低成本 FC-R7700CD质量流量控制器针对非腐蚀性气体和泄漏率要求不高的场合、保证了产品高性能同时，具有很好性价比。 ◆替换方便 FC-R7700CD质量流量控制器采用业界通用的通信方式，很容易对其他厂家的产品进行替换，从而实现提高性能和稳定性的目的。 ◆高信赖和可靠性 FC-R7700CD质量流量控制器优良的统性前世上有大约在行中的产品其年目界4万只运中的产品，其一年内的返修率不到0.5%,广受客户赞誉 FC-R7700CD质量流量控制器技术参数
性能指标
FC-R7700CD/FC-R7700D系列
FC-R7710CD/FC-R7710D系列
FC-R7720CD/FC-R7720D系列
满量程范围
10Sccm-5Slm
N/O:6-20slm*
N/C:6-50slm**
35-200Slm
响应时间
满流量的±2%范围内,小于2秒
满流量的±2%范围内,小于3秒
精度
≤±1%满量程
≤±2%满量程
线性镀
≤满量程±0 5%
≤满量程±0 5% ＃1
≤满量程±1%
重复性
≤满量程±0.2%
泄漏率
1X10E-7 Pa.m ³/sec
控制范围
满流量的2%-5% #2
压差
49Kpa-275Kpa
69Kpa-275Kpa
98Kpa-275Kpa
147Kpa-275Kpa
正常工作压
力
490Kpa
*高进气压力
980Kpa
温度范围
5-45℃(41-113℉)
输入电源
+15VDC±2% 25mA
-15VDC±2% 180mA
-15VDC±2% 200mA
功率
3.1W max
3.5W max
输入信号
0-5 VDC
输出型号
控制阀形式
常开或常闭电磁阀
密封件
氟橡胶
材质
316L，316，PTFE，不锈钢（氟橡胶，氯丁橡胶）
标准接口
1/4"VCR和Swagelok兼容
3/8"VCR,1/4"VCR
重量
1.0KG
2.7KG
＃1满量程流量值大于30SLM线性度≤满量程±1%
＃2满量程流量值大于150SLM控制范围为5%-100%
＃3满量程流量值大于150SLM压差范围为195-296Kpa