FC-R7800CD质量流量控制器特点
◆高精度
◆高信赖和可靠性
◆耐腐蚀设计
◆采用金属密封材质
◆VCR、Swagelok互换的气路接口
◆10SCCM－200SLM满量程范围
◆方便的互换性
◆高速应答优良的统一性，目前世界上有大约7万只在运行中的产品，内的返修率不到0.5%,广受客户赞誉◆方
FC-R7800CD质量流量控制器技术参数
性能指标
FC-R7800CD/FC-R7800D系列
FC-R7810CD/FC-R7810D系列
FC-R7820CD/FC-R7820D系列
满量程范围
10Sccm-5Slm
N/O:6-20slm*
N/C:6-50slm**
35-200Slm
响应时间
满流量的±2%范围内,小于2秒
满流量的±2%范围内,小于3秒
精度
≤±1%满量程
≤±2%满量程
线性镀
≤满量程±0 5%
≤满量程±0 5% ＃1
≤满量程±1%
重复性
≤满量程±0.2%
泄漏率
1X10E-11 Pa.m ³/sec
控制范围
满流量的2%-5% #2
压差
49Kpa-275Kpa
69Kpa-275Kpa
98Kpa-275Kpa
147Kpa-275Kpa
正常工作压
力
490Kpa
*高进气压力
980Kpa
温度范围
5-45℃(41-113℉)
输入电源
+15VDC±2% 25mA
-15VDC±2% 180mA
-15VDC±2% 200mA
功率
3.1W max
3.5W max
输入信号
0-5 VDC
输出型号
控制阀形式
常开或常闭电磁阀
密封件
金属密封
材质
316L，316，PTFE，不锈钢（氟橡胶，氯丁橡胶）
标准接口
1/4"VCR和Swagelok兼容
3/8"VCR,1/4"VCR
重量
1.0KG
2.7KG
＃1满量程流量值大于30SLM线性度≤满量程±1%
＃2满量程流量值大于150SLM控制范围为5%-100%
＃3满量程流量值大于150SLM压差范围为147-296Kpa