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Transpector 2残余气体分析仪
产品资料
Transpector 2残余气体分析仪
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
Transpector 2残余气体分析仪
产品型号:
C100F,C100M,H100F,H100M,H200F,H200M,H300F,H300M
产品展商:
Inficon
产品文档:
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简单介绍
inficon Transpector 2残余气体分析仪,超高灵敏度和性能优于的新一代残余气体分析仪,高灵敏性改善污染控制。
产品描述
Transpector 2残余气体分析仪Transpector® 气体分析系统是一种 RGA,可在半导体制造业中,为真空过程监控、过程诊断和泄漏检测提供**而可靠的数据。 与之相比,Transpector 2残余气体分析仪Transpector 2 提高了氢气灵敏度,使下限达 ppm 量级的污染均可一览无余,低电平信号下的扫描速度快达四倍,动态扫描范围更为宽泛,可在更低的可检分压强下提供更纯净的数据。
Transpector 2残余气体分析仪功能
100-amu、200-amu 和 300-amu 系统配备有法拉第杯或组合式电子倍增器/法拉第杯
提高氢气检测水平
优异的峰值振幅和位置稳定性
与原始 Transpector 相比,信噪比高达 10 倍
低电平信号下扫描速度更快
九个数量级的电子动态量程
针对单腔室系统和多腔室系统的软件选项
从 1 X 10 -4 Torr 到 5 X 10 -15 Torr 范围内的分压力测量
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