QMG700分析型质谱仪 QMA400 万德泉真空-真空技术全套解决方案

如果您对该产品感兴趣的话，可以
产品名称：QMG700分析型质谱仪
产品型号： QMA400， QMA410 ，QMA430
产品展商：Inficon
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简单介绍

QMG700分析型质谱仪，**的检测极限具有超强的稳定性和**分辨率。

产品描述

在半导体制造技术的快速进步，依靠迅速而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中，选择INFICON QMG 700分析质谱仪，通过检测壁垒，推动你的进程，以**的一个新的水平。该QMG700提供****的性能和适应性模块化设计。提升您的竞争优势与QMG700 ，实现测量能力的高水准。

从广泛的离子源，质量过滤器和RF电源选项中进行选择，来定制您的QMG 700到特定的应用程序。该QMG 700拥有超过九十年的动态范围和ppb的检测限，使其成为超高真空测量的理想仪器。 QMG 700提供单元的分辨率在其整个质量范围内，而对于低质量甚至更高的分辨率。该仪器是一个极好的选择了*具挑战性的测量，包括同位素分析，如氦和氘的分离。与QMG 700控制过程，并依靠其**的长期稳定，保护关键测量。

四十余年分析质谱**的INFICON确保QMG 700是您下一次气体分析投资的正确选择。为了获得一致的准确度和**的结果，你可以依靠INFICON QMG 700和我们的全球应用经验。

规格

类型	QMA 400	QMA 410	QMA 430
Mass Range	1-2048 amu (1)	1-340 amu (2)	1-300 amu
Sensor Length	441.5 mm	548 mm	441.5 mm
Rod Diameter	8 mm	16 mm	8 mm
Rod Material	Molybdenum	Molybdenum	Stainless Steel
Flange	DN 63 CF-F	DN 100 CF-F	DN 63 CF-F
Detector Type	Faraday/SEV 217	Faraday/SEV 217	Faraday/SEV 217
Max. Operating Pressure (FC)	1 E-4 mbar	1 E-4 mbar	1 E-4 mbar
Max. Operating Pressure (EM)	1 E-5 mbar	1 E-5 mbar	1 E-5 mbar
Sensitivity	5 E-4 A/mbar	1 E -3 A/mbar	2 E-4 A/mbar
Minimum Detectable Partial Pressure	1 E-15 mbar	5 E-16 mbar	1 E-15 mbar
Resolution (adjustable)	0.3 - 7 amu	0.2 - 2.2 amu	0.3 - 7 amu
Partial Pressure Ratio	< 0.5 ppb	< 0.5 ppb	< 0.5 ppb
Max. Operating Temp. Sensor	150 °C	150 °C	150 °C
Max. Bakeout Temp.	400 °C	400 °C	400 °C
Max. Operating Temp. Electronics	40 °C	40 °C	40 °C
Measurement Speed	0.125 ms - 60 s/amu	0.125 ms - 60 s/amu	0.125 ms - 60 s/amu
Power Supply	100 - 240 VAC	100 - 240 VAC	100 - 240 VAC

(1) QMA 400 is available for mass ranges: 1-512 amu, 1-1024 amu, 1-2048 amu.

QMA 400 specifications based upon 512 amu mass range, cross beam ion source system configuration

(2) QMA 410 is available for mass ranges: 1-16 amu, 1-128 amu, 1-340 amu.

QMA 410 specifications based upon 128 amu mass range, cross beam ion source system configuration

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