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法国Annealsys As-Micro快速退火炉RTP
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法国Annealsys As-Micro快速退火炉RTP
产品资料
法国Annealsys As-Micro快速退火炉RTP
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
法国Annealsys As-Micro快速退火炉RTP
产品型号:
AS-Micro
产品展商:
法国Annealsys
产品文档:
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简单介绍
法国Annealsys As-Micro快速退火炉RTP 应用于半导体材料、器件(如LED)、新材料等的快速热处理(如快速退火、合金等工艺),适用3-6英寸工艺尺寸。
产品描述
法国Annealsys As-Micro快速退火炉RTP
应用于半导体材料、器件(如LED)、新材料等的快速热处理(如快速退火、合金等工艺),适用3-6英寸工艺尺寸。实验室用
3
英寸
RTP
设备
双腔版本防止交叉污染
应用
快速热退火
(RTA)
离子注入退火
化合物半导体退火
结晶化和致密化
硒化和硫化
其他
具体参数
3
英寸快速热处理设备
RTP
便携式桌面配置
用于研发
样品尺寸
:
平方毫米
至
3-inch
直径
可选
3-inch
基片托适用
2-inch
样品
工艺腔室带石英管和不锈钢法兰
管式红外卤灯炉
极快的升温速率
带石英托盘的水平移动门板,便于装卸基片
配备热电偶
性能
&
特点
温度范围
: (RT)
室温
至
1250°C
2
英寸硅片升温速率可达
250°C/s, 3
英寸基片可达
200°C/s
带质量流量控制器的气体混合性能
真空范围
:
大气
至
10-2 Torr (10-6 Torr
带可选分子泵
)
热电偶温度测量及快速数字
PID
控制
确保温度范围内高效稳定的控制温度
.
可选高温计控制
.
设备提供完整电脑控制功能,带兼容
Windows
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