显微分光厚膜仪

• 显微分光厚膜仪应用特点：

      1.反射对物镜片实现透明基板的高精度测定

       如果是透明基板，因里面的反射光而无法正确测出膜厚。通过反射対物镜片，可物理性的消除里面反射。即使是透明基板也可测出高精度的膜厚。特别是对带有光学非均质的基板效果很好。

      2.显微分光厚膜仪在微小区域测定所瞄定的模式或部位

      在软件上通过同时显示样品画面和测定光采取部位，可很好的确认到测定点。特别是对有微小点（直径≥3μm）的形状的样品。

      3.显微分光厚膜仪在紫外区域实现极薄膜的测定

      在光干涉法中，膜越薄反射率的变化就越小。在紫外区域，由于膜厚反射率的变化相比可视区域要大，如果厚度为1nm左右的极薄膜，在紫外区域的测定效果很好。

     4.显微分光厚膜仪在近红外区域实现带色样品的测定

      在可视区域，即使时吸收较强的彩色膜等带色的样品，在近红外区域几乎会变得很透明，所以在近红外区域的测定效果很好。

      5.自动XY平台实现多点自动检测

      OPTM标配XY自动平台，仅需输入坐标即可自动多点检测大面积样品， 实时获取厚度分布图。平台设有防误触光栏，避**测过程误触。平台尺寸200mm×200mm，可以检测12寸晶圆。

      6.显微分光厚膜仪的操作便捷，检测时间短

      QC模式—点击即检测；

      R&D模式—非标准样品检测时间小于1s。

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