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产品资料
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德国英福康INFICON MDC-360C膜厚控制仪 苏州无锡南京INFICON英福康膜厚控制仪 英福康真空测量与检测 镀膜机膜厚控制仪 武汉重庆合肥英福康
产品型号:
德国英福康INFICON MDC-360C膜厚控制仪
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英福康INFICON
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简单介绍
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产品描述
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MDC-360C膜厚控制仪
的详细介绍
MDC-360C
膜厚控制仪利用闭环控制对单层或多层薄膜蒸镀过程进行准确的控制。通过可靠的数字信号程控提供蒸镀膜层特性的预测和可重复性,可用于批量生产或实验室研发。该设备具有功能强大的自我检测系统在自动运行模式过程中,即使在感应器晶片失效情况下仍可在无需人工操作情况下完成预设镀膜程序
,
国产镀膜机标准配置。
功能强大:可同时对单探头、双探头或多探头连接和控制。可以储存多达99种工艺过程,999种定义膜层和32种定义的材料。
使用灵活:有更多的材料及系统参量进行控制,包括多段速率爬升、可编程离散输入/输出及2.5~10MHz的感应晶片。
充分的软件支持:Maxtek的DCM-250软件充分支持MDC-360膜厚控制仪。它可以简化启动过程、调试过程及微调等复杂过程。它还可以实现工艺过程、系统和运转状态数据的完整存档。
操作简便:可操作的菜单控制界面。具有内置预存储材料库、命名的工艺过程和膜材搭配。
主要测量特性:
频率分辨率:在6.0 MHz时0.03 Hz
质量分辨率:0.375 ng/cm²
感应晶片频率:2.5, 3, 5, 6, 9.5, 10 MHz
膜厚显示:0.000~ 999.9 KÅ
成膜速率:00.0~999 Ang/sec (0~9.99μm/min)
膜层数量:1~999
图形显示:256×64 LCD ,CCFL背景照明
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