πMFC低压降质量流量控制器
MKS的πMFC低压降执质量流量控制器（piMFC低压，PFC-20）是一种多气体．多量程．金属密封的质量流量控制器，专用于一些对控制器的压力降要求苛刻的场合它的应用场合包括有离子注入设备中对**输送源（SDS）气体的输运控制．以达到SDS源气体利用的*大化此时入口的压力降将可能低达4Torr。πMFC（型号P2A）低压降热质量流量控制器宽为1.125英寸．长为MFC的3英寸标准表面经电抛光光洁度为5微英寸Ra并具有金属密封结构，从而保证了产品的清洁度。MFC的低压降质量流量控制器在整个动态控制范围中它的控制精度为设置点的1％：MFC低压热质量流量控制器对多气体、多范围的控制能力能降低因需要覆盖多种量程和气体种类控制器上的高投入，尤其是对离子注入而言。基于网络的浏览器界面使客户可以实时地进行控制器的设置和故障排除，从而减少了所需质量流量控制器的数量减少了对“无故障”MFC的替换并且无需中断工艺气体输送。
πMFC低压降质量流量控制器订购资料
例：型号P2A013500RAT2
采购序列号
πMFC,多气体,多范围
P2A
用于校准的气体
五氟化砷AsF5
096
胂AsH3
035
氮气N2
013
磷化氢 PH3
031
三氟化磷PF3
062
四氟化硅SiF4
088
其他气体
可选
满量程流量范围
2
向客服咨询
5
500
10
101
20
201
50
501
装配件
4VCR
R
通讯接口
15针D（I/O）
B
9针D（I/O）
A
阀
常闭，Tefion
T
流量方向
垂直方向
1
水平方向