MKS IE50A工业用橡胶密封数字质量流量控制器,防护等级为IP66,能适合工业恶劣的环境中长时间工作,精度为设定值的± 1%,相应速度快于500毫秒,不同气体及量程间自由切换。通过一个先进的数字算法,实现了精度的实时流量控制。与通常基于PID的数字MFC相比,它由于能实现工艺气体流量的实时控制而极大提供了控制精度,具有更好的工艺腔室匹配性。
基于EtherNet 用户通讯口网络的游览界面使客户可以实时地进行控制器的设置和故障排除,从而减少了对“无故障”MFC的替换并且无需中断工艺气体输送。
例:型号IE50A013502RBV010(代表的是气体介质是氮气,流量*大是500sccm,配件法兰接口是Swagelok 4VCR male,通讯接口是15针D型接口,密封材料是Viton橡胶密封)
IE50A质量流量控制器 采购系列号IE50A
用于标准的气体(SEMI Gas编号)
氮气,N2
013
氨气,NH3
029
六氟化硫,SF6
110
流量范围,SCCM满量程(相当于氮气)
5
500
10
101
20
201
50
501
100
102
200
202
502
1000
103
2000
203
5000
503
10000
104
20000
204
30000
304
50000
504
装配件(法兰接口)
Swagelok 4VCR male
R
1/4 Swagelok
S
Swagelok 4VCO male
G
Swagelok 8VCR male
T
1/8
A
1/2
K
6mm
M
8mm
E
C-Seal,(92mm port to port)
C
通讯接口
Profibus
4
Analog 0 to 5VDC (15针D型)
B
Analog 4 to mA(15针D型)
H
密封材料
标配:Viton
V
选配:Neoprene
N
选配:Buna-N
预留MKS的未来应用
标准
0
固化软件版本
除非另有说明,MKS会安装订货日期的*新固化版本软件
注:其他气体可选,技术参数请咨询客服。