πMFC 压力不敏感质量流量控制器
新一代MKS πMFC压力不敏感质量流量控制器在功能和性能上都进行了改进，使得半导体和高纯薄膜用户能进一步增加它们设备的产额。通过一个先进的数字算法，使得控制器对上游和下游的压力扰动不敏感，实现了**的实时流量控制。与通常基于PID的数字MFC相比，它由于能实现工艺气体流量的实时控制而极大地提高了控制精度，具有更好的工艺腔室匹配性。
集成的压力传感器和及其LED显示可减少所需一个气体Stick的组成数目，基于网络的浏览器界面使客户可以实时地进行控制器的设置和故障排除，从而减少了对“无故障”MFC的替换并且无需中断工艺气体输送。
πMFC 压力不敏感质量流量控制器订购资料：
例：型号P5A013502C5T021
采购序列号
πMFC,多气体,多量程,RFC-50
P5A
πMFC,多气体,压力不敏感,RFC-60
P6A
πMFC,多气体,多量程,压力不敏感，RFC-80
P8A
用于校准的气体
氮气N2
013
氨气NH3
029
六氟化硫,SF6
110
其他气体
流量范围，SCCM满量程
10
101
20
201
50
501
100
102
200
202
500
502
1000
103
2000
203
5000
503
10000
104
20000
204
30000
304
50000
504
装配件
4 VCR
R
C-密封
C
W-密封
H
通讯接口
DviceNet
6
RS485
5
15针D（I/O）
B
9针D（I/O）
A
阀
常开，金属
M
常闭，Teflon
T
预留MKS的未来应用
标准
0
固化软件版本
MKS会安装订货日期的*新固化软件版本
XX
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