MKS 180A数字型金属密封质量流量控制器
全数字型MKS ALTA质量流量控制器(MFC)对功能和性能上进行了技术改进，能够帮助半导体和高纯薄膜应用用户来提高工艺设备的产额和减少总体的系统成本。为了提高整个工艺系统的产额。为了更好的与反应室匹配，ALTA改进了精度使其达到了读数的1%。
技术上的改进和提高为用户节省了成本开支。为了减少MFC的使用数量，用户可以从20个气体数据表中检索到特定的MFC气体和流量范围，可即刻形成ALTA MFC的配置。ALTA MFC系统体现了MKS致力于帮助客户提高生产能力和降低系统成本的持续努力。
MKS 180A数字型金属密封质量流量控制器订购资料：
例：型号180A00411CR36MXX
订购序列号
180A模拟型
180A
校准气体
氦气He
001
氩气Ar
004
氢气H2
007
氮气N2
013
氧气O2
015
其他气体
可选
校准流量Sccm
10
11C
20
21C
50
51C
100
12C
200
22C
500
52C
1000
13C
2000
23C
5000
53C
10000
14C
20000
24C
装配件
4 VCR凸接头
R
0.25压紧
S
C-密封
C
W-密封
H
阀门
无控制阀
3
连接器
9针D型
A
15针D型（MKS）
B
15针D型变换
E
Profibus
4
DeviceNet
6
密封
金属
M
固化软件版本
MKS会安装订购时*新软件版本
XX