MKS 179A全金属质量流量计
179A是一款全金属的质量流量计（MFM），可在很多应用场合下测量气体的流量。它有数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1%和读数的1%。全金属的179A拥有多种电气和机械配置，包括边缘接口卡连接器，9针和15针D型接口，S-485和1/4压缩，VCR,VCO装配件等多种配置。
MKS 179A全金属质量流量计订购资料：
例：型号1790A00411CR3A6MXX
订购序列号
179A质量流量计
179A
校准气体
氦气He
001
氩气Ar
004
氢气H2
007
氮气N2
013
氧气O2
015
其他气体
可选
校准流量Sccm
10
11C
20
21C
50
51C
100
12C
200
22C
500
52C
1000
13C
2000
23C
5000
53C
10000
14C
20000
24C
装配件
4 VCR凸接头
R
4 VCO管道
G
0.25英寸管道
S
阀门
无阀门
3
连接器
9针D型
A
15针D型
B
20针边缘卡接口
C
15针D型变换接口（Brooks）
E
密封
金属
M
固化软件版本
MKS会安装订购时*新软件版本
XX