1479A是一种坚固的金属密封的质量流量控制器，可在多种应用场合测量和控制有腐蚀性气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器，1479A可作为直接替代的产品，标准的3英寸底座使1479能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1%。
技术参数：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。
控制量程：2% to 100%的全量程。
测量精度：全量程的1%
灵敏度：全量程的0.1%
热机时间：小于2Min.
响应速度：小于2Sec.
输入电压：±15VDC@100ma
输出电压：0-5VDC
连接器：模拟：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
数字：RS485或Device net或Profibus
法兰接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等
材质：316不锈钢。
MKS 1479A质量流量控制器订购资料
例：型号14790A00411CR1A6MXX
订购序列号
1479A质量流量控制器
1479A
校准气体
氦气He
001
氩气Ar
004
氢气H2
007
氮气N2
013
氧气O2
015
其他气体
可选
校准流量Sccm
10
11C
20
21C
50
51C
100
12C
200
22C
500
52C
1000
13C
2000
23C
5000
53C
10000
14C
20000
24C
装配件
4 VCR凸接头
R
4 VCO管道
G
0.25英寸管道
S
C-密封
C
W-密封
H
阀门
常闭
1
连接器
9针D型
A
15针D型
B
20针边缘卡接口
密封
金属
M
固化软件版本
MKS会安装订购时*新软件版本
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