2179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,它带有一个关闭阀,可在多种应用场合测量和控制气体的流量。配上合适的压力传感器,它还可以用作压力控制器。
常闭的气密关闭阀门正向关闭时的泄漏量仅为4 x 10-9scc/sec(He)。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的1%和读数的1%。2179具有很小的功耗:在常规直流±15V供电工作时,单元电流仅有100mA(在*初开机阶段为200mA)。
成都四洋科技有限公司代理美国MKS全系列产品:MKS流量计、MKS薄膜真空计、MKS流量计、MKS控制阀、MKS流量计。
MKS流量计是以单位时间内压力体积的流量方式来控制气体质量流量的测量仪器。MKS薄膜真空计、MKS流量控制阀、MKS流量计广泛应用在半导体行业,镀膜玻璃,医药制药行业,生物工程行业,适合各种气体媒介,常用的有氧气,氢气,氮气,氯化氢气体,氨气,SICL4硅烷气体等。
MKS 2179A质量流量控制器订购资料:
例:型号2179A00411CR16VXX
订购序列号
2179A质量流量控制器
2179A
校准气体
氦气He
001
氩气Ar
004
氢气H2
007
氮气N2
013
氧气O2
015
其他气体
可选
校准流量Sccm
10
11C
20
21C
50
51C
100
12C
200
22C
500
52C
1000
13C
2000
23C
5000
53C
10000
14C
20000
24C
装配件
4 VCR凸接头
R
4 VCO凸接头
G
0.25英寸管
S
长度适配器W/4VCR配件
L
长度适配器W/ 1/4“配件
W
阀门
常闭
1
连接器
9针D型
A
15针D型
B
15针边缘卡接口
C
单元设备15针D型接口
N
Millpore15针D型接口
T
密封
标配:Viton
V
选配:Neoprene
选配:Buna N
选配:KalreZ
K
固化软件版本
MKS会安装订购时*新软件版本
XX