GM50A是一种金属密封的质量流量控制器，可在多种应用场合测量和控制气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器，GM50A可作为直接替代的产品，标准的3英寸底座使GE50A能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1%。
技术参数：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，50000SCCM。
控制量程：2% to 100%的全量程。
测量精度：全量程的1%
灵敏度：全量程的0.1%
热机时间：小于2Min.
响应速度：小于2Sec.
输入电压：±15VDC@100ma
输出电压：0-5VDC
连接器：模拟：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
数字：RS485或Device net或Profibus
法兰接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等
材质：316不锈钢。
例：型号GM50A013502R6M010(代表的是气体介质是氮气，流量*大是500sccm，配件法兰接口是Swagelok 4VCR male，通讯接口是DeviceNet，密封材料是金属密封）
GM50A质量流量控制器 采购系列号GM50A
用于标准的气体(SEMI Gas编号）
流量范围，SCCM满量程（相当于氮气）
装配件（法兰接口）
通讯接口
密封材料
预留MKS的未来应用
固化软件版本
满量程流量为3位数字显示，前两位表示量程流量的有效数字，由小数点分开；第三位表示10的指数
注：气体可选，完全替代MKS 1479A质量流量控制器