GM50A是一种金属密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制气体的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器,它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器,GM50A可作为直接替代的产品,标准的3英寸底座使GE50A能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的1%。
技术参数:
全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,50000SCCM。
控制量程:2% to 100%的全量程。
测量精度:全量程的1%
灵敏度:全量程的0.1%
热机时间:小于2Min.
响应速度:小于2Sec.
输入电压:±15VDC@100ma
输出电压:0-5VDC
连接器:模拟:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
数字:RS485或Device net或Profibus
法兰接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等
材质:316不锈钢。
例:型号GM50A013502R6M010(代表的是气体介质是氮气,流量*大是500sccm,配件法兰接口是Swagelok 4VCR male,通讯接口是DeviceNet,密封材料是金属密封)
GM50A质量流量控制器 采购系列号GM50A
用于标准的气体(SEMI Gas编号)
流量范围,SCCM满量程(相当于氮气)
装配件(法兰接口)
通讯接口
密封材料
预留MKS的未来应用
固化软件版本
满量程流量为3位数字显示,前两位表示量程流量的有效数字,由小数点分开;第三位表示10的指数
注:气体可选,完全替代MKS 1479A质量流量控制器