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等离子清洗机 可用于大气压在线式等离子表面处理。
- 等离子清洗机可用于玻璃、薄膜、PCB板、液晶屏的多种材质的表面处理。
- 降低气耗与功耗(占常规方案消耗量的1/20~1/30)
- 不会造成二次污染的环保等离子。
◆ 应用范围
>> FPD
LCD, LTPS, OLED等各种基板玻璃表面清洗和连接前工艺的设备,不需要真空排气。采用均匀大气压等离子,以大气压等离子的问题点Stremer或者Arc的产生为准则阻断,基板上无损坏的表面清洗工艺。另外多元电极和原有大气压等离子技术相比,扩张性比较容易,所以从**代较小的基板开始到第十代3000mm扩大的大型基板都可以使用。
>> TSP
触摸屏的主要工艺的清洗,提高OCA/OCR,压层,ACF,AR/AF涂层等工艺上的粘合力/涂层力,为去除气泡/异物,通过多种大气压等离子形态的运用,可以将各种玻璃,薄膜均匀的大气压等离子放电使表面无损坏进行处理。
>> 半导体
半导体成型工艺,刻模工艺&焊接工艺,焊球连接&安装工艺的广泛使用可以提高芯片和环氧间的粘结力,和引线框架的安装和粘接力,板材和焊球之间的粘结力,防止半导体特性上的电气损坏或者容易发生的静电问题 。
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等离子清洗机方案环保,改善制程良率,有效降低生产成本。等离子清洗机 - 等离子刻蚀机 - 等离子处理机 - 等离子去胶机 - 等离子表面处理机
等离子清洗-等离子处理-等离子刻蚀-等离子去胶-等离子活化- 等离子表面处理
等离子清洗机有几种称谓,英文叫(Plasma Cleaner)又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机,等离子表面处理机,电浆清洗机,plasma清洗机,等离子去胶机,等离子清洗设备。等离子处理机/等离子处理设备广泛应用于等离子刻蚀、等离去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子处理和等离子表面处理等场合。通过其等离子表面处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。
输送带式大气压等离子清洗机广泛应用在显示器、手机、半导体、汽车、玻璃、薄膜、聚合物、生物领域的金属和非金属的表面处理工序。因装载方便,适用于各种自动化制程和连续制程
射频辉光直接式大气压等离子清洗机几乎不产生臭氧或氮氧化物,跟臭氧和UV灯相比具有100倍以上的清洁效果,跟真空等离子体相比有10倍以上的工作效率,去除有机物、表面活化、去除静电等性能优异,同时还可广泛用于各种带线路材料的灰化、蚀刻、微氧化表面的还原等表面处理。
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