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  • 产品名称:半导体封装等离子清洗设备

  • 产品型号:
  • 产品厂商:Guarder戈德尔
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简单介绍:
半导体封装等离子清洗设备用于光刻胶的剥离或灰化,也可用于去除有机和无机残留物,提高孔与铜镀层的附着力,彻底去除炉渣,提高键合可靠性,防止内部镀铜开路,清洗微电子元器件,电路板上钻孔或铜线框,提高附着力,消除键合问题等
详情介绍:

半导体封装等离子清洗机实现表面清洗、活化、刻蚀、涂镀等多种处理效果

半导体封装等离子清洗机提高键合可靠性,防止内部镀铜开路,清洗微电子元器件,电路板上钻孔或铜线框,提高附着力,消除键合问题

等离子清洗机在去除光刻胶方面应用包括预处理、灰化/光刻胶/聚合物剥离、晶圆凸点、消除静电、介电质刻蚀、有机污染去除、晶圆减压等。使用等离子清洗机不仅能去除光刻胶等有机物,还能活化加粗晶圆表面,提高晶圆表面的浸润性,使晶圆表面更加具有粘接力。

晶圆光刻蚀胶等离子清洗机与传统设备相比较,有很多优势,设备成本不高,加上清洗过程气固相干式反应,不消耗水资源,不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂,这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺。等离子清洗机刻蚀设备解决了湿法去除晶圆表面光刻胶反应不准确、清洗不彻底、易引入杂质等缺点。不需要有机溶剂,对环境也没有污染,属于低成本的绿色清洗方式
作为干法清洗等离子清洗机可控性强,一致性好,不仅去除光刻胶有机物,而且还活化和粗化晶圆表面,提高晶圆表面浸润性

晶圆清洁-等离子清洗机用于在晶圆凸点工艺前去除污染,还可以去除有机污染、去除氟和其它卤素污染、去除金属和金属氧化


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