产品性能介绍：
EasyCoater 6 匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用，程控操作，具有优异的性价比。
1.结构紧凑
EZ6外形尺寸为358mm(L)*256mm(W)*258mm(H)，特别适合放于手套箱内操作。*大可选图6英寸圆晶的底物
2.简单易用
彩色屏幕控制，界面简单易用，且自带帮助功能，提供使用向导，对初次使用者非常方便
3.程控操作
提供多步变成旋涂工艺运行，*多可贮存10步10组程序，还可升级自动点胶功能。
4.性能稳定
工业级直流马达和**PLC 控制，转轴旋转稳定，重复性好，真空系统设计独特，可靠性好
产品参数说明：
1.HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内舱，带排废功能
2.SUS耐腐蚀不锈钢机身，经久耐用
3.耐溶剂性PC透明盖子，提供动态和静态点胶功能
4.4.3寸全彩触屏人机界面，提供触屏笔操作
5.100W直流无刷电机，**PLC控制
6.内腔直径180mm，可处理碎片(小于1cm）至6英寸圆晶底物
7.速度可调范围：200－10000rpm，转速分辨率1rpm
8.加速度可调范围：100－10000rpm/s
9.可进行多步程序运行，*多可存贮10组10步程序
10.带一只自动点胶端口，可升级为电动点胶功能
11.宽输入电压适用：AC100-230V输入
12.带真空和盖子开关互锁功能，确保操作**
13.可选择设置开机密码功能提高设备操作**性
产品附件选择：
1.标配四只真空载物盘（3/16,1/2，1”&2.25），适于碎片至6英寸圆晶的处理
2.定制在午盘可选，根据基片尺寸和要求可提供嵌入式或档杆式载物盘设计加工
3.用于薄膜基片可提供定制微孔真空载物盘
4.无油真空泵（抽气量15L/min以上）或真空发生器可选
5.盖子上密封塞子可选，或全密封式盖子可选
6.手持式对中装置可选
7.盖子上点胶针筒支架手动点胶可选
8.瓶口分液器手动点胶可选
9.溶洞泵/注射泵自动点胶可选配