精密匀胶机

不锈钢外壳比塑料或者镀漆金属更耐久和美观；工业级别400瓦伺服电机系统，采用于track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中**的*大达到50000rpm/s的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定和极高的可重复性。

特性优点：

• *新的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。
• 7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。
• Telon ®/Polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。
• 标准配置转速5000rpm，并可根据用户需要进行定制。

• 采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
• 机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗。
• 排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。
• 透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒气味的散发。

主要性能指标：

• 主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）
• 旋涂程序：*多存100组程序，每组100步，每个步骤可**到0.1秒
• 转动速度：0-5,000rpm(可选更高速)
• 旋涂加速度：0-50,000rpm/Sec（空载）
• 马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1%
• 转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm
• 工艺时间设定： 0-3,000 Sec/Step，时间设置精度：0.1sec
• 支持Wafer尺寸1cm-300mm
• 旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）
• 设备尺寸  47cm W × 60cm D × 30cm H

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