E6500高真空镀膜仪具有热蒸镀镀膜仪的大工作距离和样品蒸镀角度可调的优点，同时又融入了紧凑模块化的设计，从根本上缩减了传统高真空镀膜仪的外观尺寸，超小型化全新设计，仪器尺寸只有45 x 25 x 40cm大小。70L/秒的分子泵加上前级50L/秒的机械旋转泵，可以在几分钟内达到要求的ATM-10-5mbar量级的真空度。 E6500装备了两个热蒸发源，可以是金属和碳棒，安装在腔体内，很容易更换操作，真空腔室水平布置，样品室门为铰链式，样品放置于装在样品室门内侧的样品台上，样品台角度可以调节以满足复形（TEM覆形及投影）样品的制备要求。