SC7620溅射镀膜仪 英国Quorum/Emitech的SC7620是一台结构紧凑、价格低廉的磁控离子溅射镀膜仪。如与镀碳附件(CA7625F)结合使用,为理想的低价位扫描电镜溅射、镀碳系统。SC7620耐用、易操作且质保期3年。 SC7620适合预算有限、需要高质量镀膜、仪器易操作的用户。对于常规应用, SC7620具有φ100㎜(4″)的玻璃腔室,使用磁控溅射头,带有易更换的圆片靶(标配为金/钯合金)。溅射头为方便的铰链式,并具有电**互锁装置。高压电缆带有屏蔽功能,以预防意外损坏。通过氩气针阀调整真空度,以改变等离子电流;气体注入系统可预设等离子放电。 必备:推荐使用50 l/m 双级旋转机械泵(E5005F),随机配有油雾过滤器。如果想使用已有的旋转机械泵,确保它的容量为50 l/m 或更优是非常重要的。 可选附件 - 镀碳仪 SC7620可选配(CA7625F)镀碳装置,包括蒸发电源和碳丝头。镀碳附件很容易安装。用碳丝头替换铰链式连接的溅射头即可。为确保暴露在外的溅射头不被供电,安装了机电互锁装置,以确保溅射头断电。 SC7620定单信息 选择靶 金/钯合金作为标配。与金相比,颗粒更细。 金:通常为优选。 铂:溅射颗粒尺寸比金和金/钯合金还要细小。溅射速率减慢,价格比金和金/钯合金昂贵一些。 银:与其它金属比较,银镀层容易取下,较适用于博物馆和法院的样品镀膜。 钯:用于X-射线微量分析时,常用来取代金、金/钯和铂。 请访问: www.tansi.com.cn 查看详细资料
主要特点 •价格低 •易操作 •磁控溅射头 •紧凑设计 •快速循环时间(典型为2-3分钟) •可选碳丝蒸镀 •样品台高度可调 •快速换靶(标配为金/钯合金) •符合所有新的**标准:包括机电互锁,以确保使用镀碳附件时溅射头断电 •可靠耐用
技术参数 靶 所有的靶尺寸均为57mm直径x0.1mm厚(除非另外指定) SC502-314A 金靶 SC502-314B 金/钯合金靶 SC502-314C 铂靶 SC502-314E 银靶 SC502-314F 钯靶 SC502-314A/0.2MM 金靶,厚度0.2mm SC502-314B/0.2MM金/钯合金靶,厚度0.2mm SC502-314C/0.2MM铂靶,厚度0.2mm 泵 E5005F 50 l/m双级旋转机械泵,带有油雾过滤器(115/230 50/60Hz) E5006 替换的油雾过滤器 可根据要求选用其它的泵,可选用国产泵。 镀碳 CA7625F蒸碳电源220 - 240V 尺寸:340 x 355 x 375mm 头:带有碳丝A0819(1m)的碳丝头CA0762F