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产品资料

日本YAMATO大型等离子清洗机[产品打印页面]

日本YAMATO大型等离子清洗机
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:日本YAMATO大型等离子清洗机
  • 产品型号:V1500X
  • 产品展商:其它品牌
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍
日本YAMATO大型等离子清洗机 V1500X 本产品是用等离子来进行表面处理的专业装置。具有高性能,力求操作简便,快捷,可显示数据。广泛应用于以电子材料为中心的各个行业中。用途:用于CSP、BGA、COB、基板的等离子处理。消除有机膜,金属氧化膜。用于印刷电路板的干式清洗。界面活性处理。
产品描述

日本YAMATO大型等离子清洗机 V1500X
询价或索取资料请点击

  • RIE / DP mode selectableRIEDP两种模式选择)
  • Aluminum chamber (铝质工作室)
  • For Magazine CSP/BGA (对应清洗CSP/BGA收纳盒)
  • LCD Touch panel operation (液晶触摸式显示控制板)
  • Easy to set up parameter and operation (设定简单自动运行)
  • Built in safety function with Emergency stop switch (**保障功能充实,配有紧急停止开关)

     日本YAMATO大型等离子清洗机

Specifications(规格简介)

Model(型号)

V1500X

Plasma method (等离子模式)

RIE • DP mode

Electrode(电极构造)

Parallel flat stage plate

Electrode material(电极材料)

SUS-304

Chamber temperature(工作室温度)

Digital display(数码温度显示)

RF generator(高频功率)

100~1500W

Oscillation(振荡频率)

13.56MHz

Control system(控制系统)

LCD Touch panel with PLC

Tuning method(调谐方法)

Automatic and Manual自动和手动

Timer(定时)

1sec-9H 59min 59 sec

Chamber size(内槽尺寸)

(W)600×(D)550×(H)600mm

Stage size(工作台尺寸)

(W)460×(D)400mm

Chamber material(工作室材料)

Aluminum

Reaction gas(反应气体)

O2,Ar,CF4混和气体

Purge gas(净化气体)

N2 or Dry air

Flow meter(流量计)

Mass flow control 2 line双路聚合控制

Vacuum pump(真空泵排气量)

1,400L/min

Emergency stop switch(紧急停止开关)

Push type switch

Gas port(气体端口)

2 pc (1/4"SUS swage - lock)

Purge port(净化端口)

1pc (1/4"SUS swage - lock)

Vacuum port(真空泵端口)

1pc (SUS NW40)

External dimension(外形尺寸)

(W)900×(D)1,000×(H)1,700mm

Power supply(电源供应)

AC200/220/380V 3 phase 25A

Weight(重量)

Approx. 300kg

 

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