黛尔特发布MEMS原理SF6传感器
黛尔特公司2021年1月15日新闻稿
新闻关键词：SF6传感器 MEMS 热导原理 六氟化硫传感器
由于SF6气体具有优良的灭弧性能和绝缘性能以及良好的化学稳定性，它从20世纪50年代末开始被用作高压断路器的灭弧介质。在超高压和特高压断路器中，SF6作为灭弧介质，已取代油，并已大量取代了压缩空气。在高压开关中，需要测试SF6纯度，保证SF6气体绝缘性。SF6纯度一般是90%~100%Vol.。目前SF6传感器测量方法主要有MEMS热导式和非分散红外（NDIR）方法。其中MEMS原理热导式SF6传感器测量原理是*准确、*可靠的方法。
一、MEMS原理SF6传感器概述
MEMS原理F6传感器是*经典的测量方式，近些年来由于非分散红外（NDIR）技术的进步，MEMS原理测量SF6气体浓度一度受到冷落和遗忘。但后来工程师发现非分散红外（NDIR）方法测量六氟化硫纯度有很大的缺陷，他们也逐步回到*经典的热导率的方法上。
MEMS原理SF6传感器具有精度高，重复好和波动性小受到市场应用广泛欢迎，目前也重新赢得工程师的信赖。
二、黛尔特MEMS原理SF6传感器参数
线性误差
±1%FS
响应时间(T90)
＜20s(@500mL/min)
重复性（相对标准偏差）
＜1% FS
*小检出限
<2% FS
分辨率
0.01%
长期稳定性（零点）
≤±1%FS/年
长期稳定性（量程）
1、SF6传感器示值误差(detection error)数据：
标准气体浓度值(%)
传感器示值(%)
平均值
示值误差
0
0.02
0.03
0.04
20
19.5
19.51
-0.49
49.8
49.84
49.86
49.83
79.6
79.52
79.46
79.5
79.49
-0.11
100
100.02
100.05
100.03
*大允许误差：±1%（显示值）
2、SF6传感器重复性(repeatability)数据：
测 次
1
2
3
4
5
6
平均值(%)
重复性(%)
测量值(79.6%SF6)
79.53
79.51
79.50
0.03%
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