XEN-3880热导气体传感器元件 - 黛尔特（北京）科技有限公司

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	XEN-TCG3880热导率传感器	Xensor Integration公司XEN-TCG3880是一种薄膜热电堆输出热导率传感器，与传统的热电偶计和皮拉尼真空计计密切相关。它采用氮化硅封闭膜结构设计，具有高灵敏度和分辨率。测量原理依赖于传感器敏感区域和环境之间的有效热阻的降低，这是由周围气体的热导率引起的。传感器标准安装在TO-5集管中，但也有不同的外壳（如LCC-20和KF-16和KF-40真空法兰中的封装）。因此，它可以衡量：气体分子的类型（热导率测量）和气体分子的压力（真空测量）。薄膜热电堆真空传感器的稳定性和精度可与标准皮拉尼真空计相媲美。
	XEN-3880和XEN-3920热导气体敏感元件	Xensor Integration公司拥有一系列现成的标准MEMS热导率气体敏感元件和气体传感器。经典的XEN-3880和XEN-3920热导率气体敏感元件和XEN-5320是一种智能气体传感器，在需要分析二元气体混合物的工业中有着广泛的应用。XEN-5320使用经验证的热导率传感器敏感元件XEN-3880，该气体传感器基于环境气体的热导率测量。XEN-3880、XEN-3920和XEN-5320应用包括皮拉尼真空计、气体扩散率的检测以及氢气等二元气体成分的含量测量。 Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920热导气体敏感元件测量流经其表面周围气体的热导率。根据气体热导率不同的原理，它可用于测量二元混合物或准二元混合物中的气体浓度，其中组分气体具有不同的热导率。它也可以用于测量真空系统中的
	XEN-3920热导率气体传感器敏感元件	Xensor Integration公司XEN-3920热导率气体传感器元件测量周围混合气体的热导率。根据气体热导率不同的原理，它可用于测量二元混合物或准二元混合物中的气体浓度，其中组分气体具有不同的热导率。它也可以用作Pirani压力计（皮拉尼真空计）来测量真空系统中的压力。热导率气体传感器芯片由一个带有2个氮化硅膜的硅边缘组成。XEN-3920在每个膜的中心是一个加热器，带有测量其温度的传感器敏感元件，敏感芯片测量环境和膜中心之间的气体热导率。

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