Pirani皮拉尼真空规背后的故事
——Marcello Pirani:真空测量的英雄
皮拉尼进一步从事高温的光学测量工作,然后于1919年加入奥斯拉姆,担任科学技术局局长。在那里,他广泛研究了从钽对气体的吸附到从白炽灯到气体放电灯的转变等主题。在工业界任职期间,他曾在柏林的技术大学和Technishe Hochschule担任过多个职位。从1936年起,皮拉尼在英国从事各种活动,从耐高温材料到细煤尘的利用。1953年,他回到德国,为奥斯拉姆咨询,在他出生的城市去世,享年88岁。
TCD-5880皮拉尼真空规传感器 TCD-5880对薄膜中心的热电堆的热接点和芯片框架上的冷接点之间的热阻进行测量。这是通过使用加热器电阻器加热膜的中心来实现的。由此产生的中心温度升高通过热电堆来测量。实际温度升高取决于膜中心和环境之间的有效热阻,这受到环境气体热阻的影响。TCD-5880安装在6引脚TO-5上金属基座上。
TCD-5880皮拉尼真空计传感器技术参数
@环境温度22°C和1 V电源 尺寸:敏感元件尺寸(mm3):2.50 x 3.33 x 0.3 尺寸:TO-5晶体管基座(mm2):9Фx 6 针脚长度(mm):13.5 TO-5重量(g):0.71 TO-5+带筛网金属帽+过滤器的重量(g):1.05 输出 在<1 mPa(V/W)的真空中:130 在100 kPa(V/W)的空气中:30 在10 MPa(V/W)的空气中:26 在氦气中,100 kPa(V/W):7 在氦气中,10 MPa(V/W):6.9 时间常数 空气中(ms):9 在真空中(ms):36 稳定性 短期,1天(ppm):1 长期,1年(ppm):100 热阻 膜(kK/W):100 膜+空气(kK/W)23 Max.加热电压 空气中(V):2.5 真空(V)1
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