Semilab掺杂浓度测试仪 MCV-530L 汞探针

序号

项目

参数

备注

1

基本功能要求

1. 设备用于SiC外延层载流子浓度CV Mapping，设备是全自动汞探针系统，带扫描测试功能的高频电容-电压测试分析系统。

2. 样品台具备面扫描功能（即Mapping功能），兼容4寸和6寸样品。

3. 与传统的汞探针系统采用碳化硅片正面朝下、真空吸附测试方式不同，设备采用汞探针设计，测试时碳化硅片样品正面朝上，探针为上面接触，避免传统设备玷污和破坏样品、无法进行多点扫描测试的缺点。

4. 设备采用高精度调压设备来**控制汞柱和碳化硅材料接触面积。整体系统用汞量小于1毫升，设备具备自动换汞功能。测试腔体为负压设计，以确保测试过程汞蒸发不会扩散，防止汞蒸汽泄露。

2

技术参数要求

1. 外延层载流子浓度测试范围：1E14 carriers/cm3 to 1E19 carriers/cm3。载流子浓度测试重复性：1sigma <0.5%，测试精度：3sigma<3%; 测试标准：取单点静态测试10次，10次测试值的STDEV/AVERAGE作为重复性测试值；精度是指（测试值-参考值）/参考值。

2. 单点测试面积：0.018-0.027 cm2；单点测试时间：<20s/点；单片测试时间：<3分钟/片（4英寸SiC外延样品测试9点）

3. 汞接触面积重复性：1 sigma <0.167%。

4. 施加偏压范围不低于+/-100伏；

5. 测试电压频率可达到0.922MHz；测量电容为：0.922MHz时0～2000 pF，100kHz时0～20000 pF。

3

其他要求

1. 设备包含CV Meter单元、Test station单元、Chunk单元、Probe单元、PC控制单元。厂商随机提供mos标准样品。

Parameter参数

Response响应指标

Voltage电压

+/-250Vlots standard    

Ramp Rate升降压速率

0 to 50 V/sec     

Typical Accuracy(see below) 精度（详见下表）

+/-0.5% of reading

+/-0.2% of full scale

Capacitance电容

0 to 2000 pF at 1 MHz

0 to 20000 pF at 100kHz

Conductance电导

0 to 2000 uS

Chuck样品台

200 mm diameter (MCV-530: 300mm diameter)

Range范围

Resolution分辨率

Accuracy精度

2 pF

0.5 fF

+/-(0.5% rdg +/- 0.5%FS)

20 pF

5 fF

+/-(0.5% rdg +/- 0.2%FS)

200 pF

50 fF

+/-(0.5% rdg +/- 0.2%FS)

2000 pF

0.5 pF

+/-(0.5% rdg +/- 0.2%FS)

20000 pF (100kHz only)

5 pF

+/-(0.5% rdg +/- 0.5%FS)

Range范围

Resolution分辨率

Accuracy精度

2 uS

0.5 nS

+/-(0.5% rdg +/- 0.5%FS)

20 uS

5 nS

+/-(0.5% rdg +/- 0.2%FS)

200 uS

50 nS

+/-(0.5% rdg +/- 0.2%FS)

2000 uS

0.5 uS

+/-(0.5% rdg +/- 0.2%FS)

Nominal Frequency名义频率

100 kHz

1 MHz

Actual Frequency实际频率

100 kHz

0.9216 MHz

Frequency Accuracy频率精度

+/- 0.01%

+/- 0.01%

Drive Voltage 驱动电压

15mV, rms

15mV, rms