该产品主要用来测试衬底为化合物（碳化硅（SiC）或蓝宝石（Sapphire））的高电子迁移率晶体管（HEMT）结构，测试参数为外延层的参杂浓度和电阻率（在迁移率为已知的条件下），同时还可以测试载流子浓度分布，平带电压（在该结构表层为介电层的条件下）以及界面态密度。采用特殊的汞探针探头，具有**的电极面积，从而得到更精准、可靠的数据。
1、CVmap 92A main body（原材料一）
名称
CVmap 92A mainbody设备主机
尺寸
50.8cm(Depth)、55.9cm(Width)、33cm(height)
重量
56kg
功率
95W
2、Computer（原材料二）
CV main computer软件运行电脑
43.2cm(depth),17.8cm(width),45.72cm(height)
9.1kg
性能
≥I5处理器，HardDisk 1T, Memory 8G
20W
………
2、Monitor（原材料三）
Monitor 显示器
5.08cm(depth),43.2cm(width),30.5cm(height)
3.7kg
13W
3、E4980A源表（原材料四）
E4980A信号源表
37.5cm(Width)x39cm(Depth)x11(Height)cm
5.3kg
43W
4、CVmap 92A Embeded Controller（原材料四）
Embeded computer嵌入式控制器
18cm(Width)x43.2 (Depth)x18cm(Height)
3.2kg
28W
序号
项目
参数
备注
1
测量尺寸
20x20mm~200mm晶片.
2
效率
30s/点
3
能耗
200W
4
性能 等
探头点面积：大约0.02平方厘米
探头接触面积的重复性：优于1%
…….
功能要求
数量
单位
CVmap 92A main body
提供汞接触的主机平台
台
控制单元
控制主机运动及测试
个
定制电脑
软件运行及操作
套
E4980A
提供100K及1MHz测试频率
设备主要配置表
主要部件名称（描述）
型号规格
品牌
汞探针系统主机
CVmap92A
4D
软件包
#1软件包
探头
点状探头
汞瓶
含10毫升汞
5
真空管
10英尺
6
压缩空气管
7
电脑主机
定制
8
控制器
9
鼠标和键盘
10
汞泄露处理套装
粤公网安备 44030402001250号