原子力显微镜 用于半导体行业的测量
X,Y测量范围: 20umX20um; 40umX40um; 80umX80um
Z测量范围: 2um 4um 6um
X,Y分辨率: 0.1nm
Z分辨率: 0.01nm
原子力显微镜 (AFM)通过一个微小尺寸