白光干涉仪
详细技术参数：
测量原理 白光干涉测量
测量物镜 10X 20X 50X
垂直测量范围： 100um(400um可选)
垂直分辨率 0.1nm
X,Y测量范围： 1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm
工作距离： 3.6mm 3.6mm 1.7mm
侧向分辨率 2.5um 1.25um 0.5um白光干涉仪