型 号
（手动型，自动型）
OptiCenteric
OptiCentric
L
MOT
MOT 2R
样品直径范围
气浮平台直径
225
225/600
100/300
225/400/600
标准测量范围
（焦距、曲率半径）
±5 …±250mm
±5 …±400mm
±5 …±450mm
焦距调节模式
线性导轨升降
手动微调���5um
高度调节行程250
<--
手动微调焦5um
电动升降，自动聚焦
电动调焦步进0.5um
尺寸(mm)
重量(kg)
355 x 455 x 970
35
355 x 490 x 1000
550 x 750 x 1733
60
750 x 1150 x 2000
80
可扩展测量范围
测量精度及模式
可扩展到 ±2000 mm （焦距、曲率半径）；
保证测量精度：+/- 0.2微米或者+/-2秒； 测量模式-透射法和反射法，轴上测量
测量参数
及扩展
反射法和透射法测量球面中心偏差；透镜的定心胶合；组合透镜系统的中心偏差。光盘和光驱光学元件：CD光学读取头的调校；玻璃磁盘旋转的摇摆度。平面光学元件楔角。
BFL 、曲率半径、透镜厚度、非球面中心偏差、平面元件角度等。
其他参数
准直仪焦距150mm，通光孔径30mm，测量头焦距200mm；测量波长绿光；精密可旋转夹具；可倾斜双轴调节台TRT200带微调千分尺，精度2秒/1um；气浮平台的轴向径向精度0.05um；理想温度：20-22度（0-40）湿度30-70% ；*大供气压：1 MPa (10 bar)