型 号
(手动型,自动型)
OptiCenteric
OptiCentric
L
MOT
MOT 2R
样品直径范围
气浮平台直径
225
225/600
100/300
225/400/600
标准测量范围
(焦距、曲率半径)
±5 …±250mm
±5 …±400mm
±5 …±450mm
焦距调节模式
线性导轨升降
手动微调焦5um
高度调节行程250
<--
电动升降,自动聚焦
电动调焦步进0.5um
尺寸(mm)
重量(kg)
355 x 455 x 970
35
355 x 490 x 1000
550 x 750 x 1733
60
750 x 1150 x 2000
80
可扩展测量范围
测量精度及模式
可扩展到 ±2000 mm (焦距、曲率半径);
保证测量精度:+/- 0.2微米或者+/-2秒; 测量模式-透射法和反射法,轴上测量
测量参数
及扩展
反射法和透射法测量球面中心偏差;透镜的定心胶合;组合透镜系统的中心偏差。光盘和光驱光学元件:CD光学读取头的调校;玻璃磁盘旋转的摇摆度。平面光学元件楔角。
BFL 、曲率半径、���镜厚度、非球面中心偏差、平面元件角度等。
其他参数
准直仪焦距150mm,通光孔径30mm,测量头焦距200mm;测量波长绿光;精密可旋转夹具;可倾斜双轴调节台TRT200带微调千分尺,精度2秒/1um;气浮平台的轴向径向精度0.05um;理想温度:20-22度(0-40)湿度30-70% ;*大供气压:1 MPa (10 bar)